規格等級

化學指標

W≥99.999%（氣體元素不計入內）

W≥99.995%（氣體元素不計入內）

痕量雜質總和

≯100?ppm

≯50?ppm

雜質指標(ppm)

最大值

典型值

最大值

典型值

放射性元素

U

—

—

0.1

0.1

Th

—

—

0.1

0.1

堿金屬元素

Li

1

0.5

0.05

0.01

Na

5

5

1

0.2

K

5

5

1

0.05

Mo,Re

10

5

10

5

Fe，Cr

10

5

5

3

Ca,Si,Cu,Ni,Al,Zn

Sn,Mn,Co,Hg,V

2

1

0.5

0.3

P，As，Se

2

1

0.5

0.2

B,Pb,Sb,Be,Ba,Bi,Cd,Ge

Nb,Pt,Mg,Zr,Au,In,Ga,Ag

1

0.5

0.5

0.1

其它所有單個元素

1

0.5

0.5

0.1

氣體分析

（≯，ppm）

O

C

N

H

50

100

20

20